晶圓片托架的落座檢測。
通過與導槽并用的方式設定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學系統幾乎可穩定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調光方式E5EN-C1T-W-N基礎知識。
使用環保導線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導線長：2mE5EN-C1T-W-N實現了小型規格、和豐富的機種。
5.5mm小型內置放大器。
長檢測距離2.5mm。工件晃動也能穩定檢測。
響應頻率1kHzE5EN-C1T-W-N基礎知識。
低消耗電流。
種類：直流3線式。
形狀：非屏蔽。
檢測面：下面。
檢測距離：2.5mm。
輸出形式：PNP。
動作模式：NO。尺寸：72×72mm。
種類：熱電偶型。
調節模式：ON/OFF動作或PID動作。
警報：單報警報。
輸出：電壓輸出（用于驅動SSR）。
帶單報警輸出的溫度控制器。
可同時顯示SV與PV。
多重溫度范圍允許設定佳溫度范圍。
保護功能可以防止操作上的錯誤。類型：高溫用。
測量溫度范圍：0～+1,000℃。
目標物尺寸：φ40mm（距離500mm時）。
無需接觸工件，即可測量溫度。
實現無損傷、衛生且的溫度管理。
備有小光點直徑φ3mm與φ8mm兩種類型。+500℃），
還新增中低溫（?50～+500℃）、
高溫用（0～+1,000℃）機型E5EN-C1T-W-N基礎知識。
新增測量距離達500mm、1,000mm的長距離型。
使用另售的編程器，可變更溫度的、輻射率、
移動平均功能、輸出范圍。
（圖片為在ES1本體上安裝編程器）
端子部形狀:導線直出型。
保護管直徑D:φ3.2mm。
保護管長度L：35cm。
導線種類：一般用。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應品的基礎上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應部件。
可根據要測量的溫度、場所、 周圍環境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產品。
螺紋長度為長尺寸的接近傳感器。
提升緊固強度外，還標配導線保護器。
提升指示燈的可視性，所有機型全部采用扳手夾緊用銑切切E5EN-C1T-W-N指導手冊。
種類：交流2線式。
形狀：屏蔽，M18。
檢測距離：10mm。E5EN-C1T-W-N指導手冊。
動作模式：NO。E3JK-R2S3檢測方式：回歸反射型帶M.S.R.功能，
連接方式：導線引出型，
檢測距離：2.5m。
輸出狀態:入光時ON；遮光時ON。
輸出:DC無觸點，
實現降低成本的2種類型