晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強(qiáng)的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E5EN-C1T-W-N基礎(chǔ)知識。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導(dǎo)線長：2mE5EN-C1T-W-N實現(xiàn)了小型規(guī)格、和豐富的機(jī)種。
5.5mm小型內(nèi)置放大器。
長檢測距離2.5mm。工件晃動也能穩(wěn)定檢測。
響應(yīng)頻率1kHzE5EN-C1T-W-N基礎(chǔ)知識。
低消耗電流。
種類：直流3線式。
形狀：非屏蔽。
檢測面：下面。
檢測距離：2.5mm。
輸出形式：PNP。
動作模式：NO。尺寸：72×72mm。
種類：熱電偶型。
調(diào)節(jié)模式：ON/OFF動作或PID動作。
警報：單報警報。
輸出：電壓輸出（用于驅(qū)動SSR）。
帶單報警輸出的溫度控制器。
可同時顯示SV與PV。
多重溫度范圍允許設(shè)定佳溫度范圍。
保護(hù)功能可以防止操作上的錯誤。類型：高溫用。
測量溫度范圍：0～+1,000℃。
目標(biāo)物尺寸：φ40mm（距離500mm時）。
無需接觸工件，即可測量溫度。
實現(xiàn)無損傷、衛(wèi)生且的溫度管理。
備有小光點直徑φ3mm與φ8mm兩種類型。+500℃），
還新增中低溫（?50～+500℃）、
高溫用（0～+1,000℃）機(jī)型E5EN-C1T-W-N基礎(chǔ)知識。
新增測量距離達(dá)500mm、1,000mm的長距離型。
使用另售的編程器，可變更溫度的、輻射率、
移動平均功能、輸出范圍。
（圖片為在ES1本體上安裝編程器）
端子部形狀:導(dǎo)線直出型。
保護(hù)管直徑D:φ3.2mm。
保護(hù)管長度L：35cm。
導(dǎo)線種類：一般用。
品種豐富的溫度傳感器系列。
在以往的M3螺釘對應(yīng)品的基礎(chǔ)上，
追加有助于降低配線工時的棒狀端子對應(yīng)品。
溫度傳感器是用作溫控器的熱感應(yīng)部件。
可根據(jù)要測量的溫度、場所、 周圍環(huán)境選擇。
備有種類、形狀、 長度及端子部形狀各異的產(chǎn)品。
螺紋長度為長尺寸的接近傳感器。
提升緊固強(qiáng)度外，還標(biāo)配導(dǎo)線保護(hù)器。
提升指示燈的可視性，所有機(jī)型全部采用扳手夾緊用銑切切E5EN-C1T-W-N指導(dǎo)手冊。
種類：交流2線式。
形狀：屏蔽，M18。
檢測距離：10mm。E5EN-C1T-W-N指導(dǎo)手冊。
動作模式：NO。E3JK-R2S3檢測方式：回歸反射型帶M.S.R.功能，
連接方式：導(dǎo)線引出型，
檢測距離：2.5m。
輸出狀態(tài):入光時ON；遮光時ON。
輸出:DC無觸點，
實現(xiàn)降低成本的2種類型