晶圓片托架的落座檢測。
通過與導(dǎo)槽并用的方式設(shè)定落座位置。
與晶圓片托架的接觸面使用了耐化學(xué)藥品性強的氟素樹脂。
獨有的光學(xué)系統(tǒng)幾乎可穩(wěn)定檢測所有晶圓片托架。
采用抗干擾光的變調(diào)光方式E5AN-HAA3BFMD-500手冊。
使用環(huán)保導(dǎo)線（無滑石粉）。
檢測方式：反射型。
檢測距離：紅外光0~3mm。
動作模式：有晶圓片托架時ON。
導(dǎo)線長：2mE5AN-HAA3BFMD-500E32-DC200E種類：標準型；標準，
特長：M3螺釘（小型），
彎曲半徑(mm):R10。
標準檢測物體(小檢測物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元激光光束可變！
配合工件可選擇光點·區(qū)域3 種變化的
光學(xué)結(jié)構(gòu)
可綽綽有余的檢測長距離1000mm
(擴散反射型)E5AN-HAA3BFMD-500手冊。
裝載焦點可變構(gòu)造&光軸可調(diào)構(gòu)造。
現(xiàn)場裝備了檢測時易于識別的發(fā)光式大型動作顯示燈。
傳感器探頭部通過接插件化使連接更為簡單。E32-D21種類：標準型；耐曲折，
特長：M3螺釘（小型），
彎曲半徑(mm):B；R4。
標準檢測物體(小檢測物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元檢測方式:擴散反射型.
檢測距離:100mm.
用途：側(cè)視式，
小型;薄型探頭省空間
帶有能緊密安裝的干擾驅(qū)動用)E5AN-HAA3BFMD-500手冊。
輔助輸出：4點(輔助輸出1、2公共通用，輔助輸出3、4公共通用)。
電源電壓：AC/DC24V。
端子形狀：螺釘端子臺型。
輸入類別：全量程多輸入。
加熱斷線、SSR故障檢測功能：2點(三相加熱器用)。
通信：RS-485。
事件輸入：2點。
遠程SP輸入：--。
傳送輸出：--。
清晰易讀的大屏白光PV顯示。從選型到設(shè)定與操作均簡單易用。
完整的I/O容量、功能和性能范圍。適合更多應(yīng)用。
E5AC的白光LCDPV顯示屏高度約為25mm。
上面板和前面板都配有工具端口。
用通信轉(zhuǎn)換線（另售）連接至電腦上來建立控制器而不需要為電源安裝電線。
輕松安裝CX-Thermo（另售）。
50ms高速采樣周期。
型號可配備多4點輔助輸出，6點事件輸入，
1點傳送輸出和遠程SP輸入，適合一系列廣泛的應(yīng)用。
主體短小，厚度僅為60mm。
易于使用未編程通信連接到可編程邏輯控制器(PLC)。E5AN-HAA3BFMD-500使用說明書。
使用部件通信將溫控器互相連接。
新型位置比例控制型號號使您還可以控制閥門E5AN-HAA3BFMD-500使用說明書。E32-D21B種類：標準型；耐曲折，
特長：M4螺釘（小型），
彎曲半徑(mm):B；R4。
標準檢測物體(小檢測物體)(mm) 1：(φ0.005)，
滿足多樣化需求的光纖單元